协荣滑环SRC120-20A-08P
型号编码解析 SRC120-20A-08P
1. SRC：协荣KYOEIDENKI 中空一体式滑环系列
2. 120：滑环外径120mm标准系列规格
3. 20A：单通道额定承载电流20A，大功率功率回路
4. 08：8路独立导电通道（4功率+4信号）
5. P：Panel法兰面板固定安装型，半导体设备标准安装方式
官方技术参数
| 参数项目 | 原厂技术指标 | 半导体行业适配优势 |
|---|---|---|
| 品牌 | 日本协荣 KYOEIDENKI | 日韩半导体原厂设备标配，进口替代原装件 |
| 通道数量 | 8通路 | 4路20A大功率+4路精密信号一体化 |
| 单通道额定电流 | 20A | 晶圆加热台、真空吸附模组、伺服电机供电 |
| 额定电压 | AC/DC ≤220V | 适配温控、真空传感器、伺服驱动回路 |
| 中空通孔 | φ40mm | 同步穿过真空管路、冷却水路、检测光纤 |
| 外径/总长 | φ120mm / 86mm | 紧凑型法兰，节省机械手狭小安装空间 |
| 额定连续转速 | 800rpm | 晶圆载台、探针台高速旋转工位持续运转 |
| 标准旋转寿命 | 6000万转 | 24小时Fab不间断量产，降低维保频次 |
| 导电材质 | 镀金导电环+特种合金电刷 | 动态电阻波动＜0.01Ω，无信号杂波干扰检测精度 |
| 工作温度 | -40℃ ~ +120℃ | 兼容炉管高温、低温冷却腔体全制程 |
| 环保认证 | RoHS2 无卤 | 低粉尘析出，符合Class1无尘车间管控 |
| 安装方式 | 法兰面板固定P型 | 设备外侧法兰锁紧，拆装便捷不破坏腔体密封 |
| 绝缘耐压 | 1500V/min | 绝缘性能优异，杜绝真空漏电击穿晶圆 |
产品核心优势 适配半导体严苛工况
1. 8通道功率+信号一体化集成
8通路分区设计，1~4通道承载20A大电流供给加热、真空模组；5~8通道低阻抗信号通道传输温度、真空压力、CCD定位信号。单套滑环替代多组分体接头，减少旋转机构线缆缠绕，降低静电污染晶圆风险。
针芯排布示意图
中空通孔结构图
2. φ40mm大中空通孔，电/气/光同步传输
中心40mm贯通孔，可同步穿过真空负压管路、冷却水管、检测光纤，实现电、气、光多介质同步旋转传输，适配PVD/CVD旋转基板、真空晶圆搬运机械手，简化腔体结构设计。
3. 低粉尘贵金属导电结构，洁净车间专用
内部镀金导电环+低磨耗合金电刷，旋转微粉尘析出极低，不会污染晶圆、光刻胶；整机无卤阻燃不锈钢外壳，耐氟化气体、光刻蒸汽腐蚀，适配8/12寸晶圆Fab无尘车间。
内部拆解结构图
晶圆机械手旋转场景图
4. 800rpm高转速+6000万转长寿命，24h不间断量产
额定800rpm连续正反转无卡顿、无信号跳变；原厂6000万转使用寿命，全年产线连续运行，仅需简易定期清理电刷粉尘，大幅减少停机维护，提升产线稼动率。
5. 标准法兰安装，进口设备国产化替换通用
P型法兰固定为日韩半导体设备通用标准接口，可直接替换原装进口滑环，无需修改设备底座；定转子分体出线，检修单独拆卸滑环，不破坏真空腔体密封。
全产业链半导体设备应用场景
1. 晶圆前段制造设备
- PVD/CVD薄膜镀膜机：真空旋转基板载台供电，中空通孔穿工艺真空管路，耐受等离子腐蚀、120℃腔体高温辐射
- 干法刻蚀/氧化扩散炉：晶圆旋转承载台导电接口，稳定传输热电偶温控信号，隔绝炉管挥发化学气体
- 光刻机旋转载台：高精度旋转工位供电+光学定位信号传输，低电阻保障纳米级套刻精度，无信号干扰
2. 晶圆检测测试设备
- 探针台、CP晶圆测试机：旋转载台大功率驱动+多路电压电流采集一体传输，8通道集成简化测试工装布线
- AOI光学检测设备：旋转CCD检测平台供电、图像数据传输，低振动电刷避免画面失真、数据丢失
3. 半导体封装后段设备
固晶机、键合机、晶圆分选机：真空吸附旋转模组、加热温控台旋转导电，适配封装车间脱模剂潮湿工况，杜绝触点氧化设备报警。
4. 半导体配套自动化设备
真空SCARA晶圆搬运机械手、EFEM设备前端旋转机构、高低温晶圆老化测试柜、CMP化学机械抛光旋转平台
设备现场安装实拍
滑环法兰开孔安装细节实拍
半导体电控柜整机装配实景
中空通孔穿气管光路装配效果图
同系列配套选型与衍生型号
标准配套配件
1. 配套止转支架、洁净防尘密封垫圈
2. 出线防护波纹管、定制屏蔽线束
3. 法兰安装锁紧螺母、防水保护端盖
| 型号 | 通道/电流 | 适用场景 |
|---|---|---|
| SRC120-20A-08P | 8路20A 法兰公座 | 本机，半导体设备面板安装 |
| SRC120-20A-08S | 8路20A 线缆母座 | 与本品配对，定制出线线束 |
| SRC120-10A-08P | 8路10A 纯信号款 | 仅传感器、通讯信号传输 |
| SRC120-20A-12P | 12路20A 多通道款 | 多路大功率+多信号复合设备 |
客户常见咨询问答
Q：协荣SRC120-20A-08P能否直接安装在真空腔体内部？
A：本品仅适配设备外侧法兰安装；腔体内部高真空、超高温工况需定制真空无油专用滑环。
Q：φ40mm中空通孔可以同时穿过气管和光纤吗？
A：支持，40mm大通孔可同步布置真空管路、冷却水路、检测光纤，实现多介质旋转传输。
Q：滑环旋转是否会产生粉尘污染晶圆？
A：采用低磨耗贵金属电刷，粉尘析出量极低，搭配洁净密封垫圈，满足半导体无尘车间使用标准。
Q：800rpm转速能否24小时连续运行？
A：800rpm为额定持续转速，支持全天候不间断正反转循环，原厂测试寿命6000万转。
Q：是否支持定制线束、加长出线？
A：支持，可按需定制不同长度屏蔽线束、端子规格，适配各类半导体设备接线需求。
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