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UWR – 低硅测力传感器

UWR – 低硅测力传感器

低硅测力传感器

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描述

在半导体的生产过程中,使用不易释放硅氧烷(由硅树脂所释放的气体)的设备至关重要。
UWR是一种梁式测力传感器。
考虑到该传感器将被应用在硅晶片附近,生产时使用了不易产生氯气的聚四氟乙烯护套电缆。

技术参数

型号UWR-10N
额定容量10 N
额定输出約 0.5 mV/V
允许负载300% R.C.
零点平衡±20% R.O.
非线性0.03% R.O.
滞后性0.03% R.O.
重复性0.02% R.O.
补偿温度范围0 〜 +50℃
允许温度范围−10 〜 +70℃
零点的温度影响0.5% R.O./10℃
输出的温度影响0.2% R.O./10℃
输入端子间阻抗约 1000 Ω
输出端子间阻抗约 1000 Ω
推荐激励电压5 V
绝缘阻抗(DC 50 V)1000 MΩ 以上
电缆线φ2 4芯屏蔽聚四氟乙烯护套电缆 3 m 头部散状
负载的弯度0.04 mm
固有频率2.5 kHz
重量约 40 g (不含电缆)
传感器材质铝合金
使用案例・配线图

6.jpg7.jpg

 

 

外形尺寸

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