PS-Ⅲ- 多通道静电容量方式非接触位移计

描述

采用静电容方式技术测量，实现非接触精密变位测量。可应用变位、振动、形状、位置检出等广泛领域测量。本产品追求精度和成本效果开发，是泛用性变位计。还有，考虑地球环境的影响，所有产品均采用无铅·RoHS2指令。PS-Ⅲ系列，是在1台机箱内拥有多通道，在AC 100 V下工作，备有各种功能的PS传感器系列的综合版。不仅仅应用研发目标等单品使用，还可用设备内置使用。

测量原理

如下图所示，PS传感器，利用平板电容器的原理。
C为极板之间的电容、ε为探针与对电极之间的诱导率、g为距离、A为中心电极板的面积。这些关系可表达如下计算式。

如下图所示，通过交流恒流源驱动时，输出电压为：

输出和测定空隙有比例关系。

PS传感器，在防护电极与中心电极具有相同电位下进行驱动时，通过中心电极部分建立并行电场，获得高的直线性。

● 应用案例

● 技术参数

放大器技术参数
型式	PS-Ⅲ
基本输出电压	0 ～ 10 V
输出终端	BNC连接器
频率特性	DC ～ 1 kHz
使用温度范围	10 ～ 40℃
电源	AC 100 V（附属的AC适配器使用）

在图表的□□中输入探头长度(mm)。

型式	外径（mm）	支距（μm）	量程（μm）	分辨率（nmrms）	直线性（%）	探头长度（mm）	电缆长度（m）
AX□□-30	4	10	30	0.6	±0.05	5 10 30	2（标准）
AX□□-50		10	50	1.0
AX□□-100		10	100	2.0
AY□□-50	6	10	50	1.0
AY□□-100		10	100	2.0
AY□□-250		25	250	5.0
AY□□-500		50	500	10	±0.1
AZ□□-500	12	50	500	10	±0.05	10 30
AZ□□-1000	12	100	1000	20	±0.1	10 30

● 构成型式例子

外形尺寸
型式	PS-Ⅲ-3N	PS-Ⅲ-2D	PS-Ⅲ-5N	PS-Ⅲ-4D
输出终端	BNC×3	BNC×2	BNC×5	BNC×4
尺寸(mm)	186W×152H×331D		257W×152H×271D
显示器	无	有	无	有

放大器形式		通道数	显示器的有无
PS根据以下条件确定PS-Ⅲ型式
PS-Ⅲ		2以上	有显示器・・・D
PS-Ⅲ		2以上	没有显示器・・・N
4通道显示器附属的情况
4通道显示器附属的情况
PS-Ⅲ	–	4	D

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