UX010LB/CSA-591-99/FA409-403-5M/TGS-070/90 半导体塑封设备成套配套组件

 

UX010LB / CSA-591-99 / FA409-403-5M / TGS-070 半导体塑封设备成套配套组件

配套品牌:美蓓亚Minebea、协荣KYOEIDENKI|适配设备:TOWA/YAMADA/ASM全自动塑封压机

半导体Molding塑封工序专用整套传感+旋转导电方案:UX010LB高精度拉杆应变传感器实时监测锁模压力,搭配CSA-591-99信号放大器输出标准模拟信号;FA409-403-5M屏蔽线束稳定传输测力信号;TGS-070中空滑环为塑封旋转载台、上下料机械手实现360°无缠绕供电与信号传输。整套耐高温、低粉尘、抗电磁干扰,适配8/12寸IC、功率器件封装产线24小时不间断量产。



1、UX010LB 美蓓亚拉杆应变锁模力传感器

基础参数

品牌 Minebea美蓓亚三美
测量量程 0~1000μst
阻抗/精度 350Ω±0.3%,精度±1%FS
工作温度 -10℃ ~ 75℃
防护等级 IP67,轻量化铝合金外壳
配套出线 0.3m四芯屏蔽线,匹配R05-P8BM连接器

塑封设备应用说明

1、成对安装在塑封压机四根格林柱,实时采集合模锁模张力数据;
2、实时监控模具合模压力均匀度,避免压力不均造成芯片压损、环氧树脂溢料;
3、过载压力预警,保护压机拉杆不变形,延长设备使用寿命;
4、信号通过FA409线束接入CSA-591-99放大器,输出0~10V标准信号给到PLC闭环压力控制。

适配机型:全自动Transfer塑封压机、压缩式Molding设备、大功率功率器件塑封成型机

2、CSA-591-99 应变专用信号放大器

基础参数

适配传感器 350Ω应变片(完美匹配UX010LB)
输出信号 0~10V标准模拟电压
温度特性 内置温度补偿电路,抑制车间温漂干扰
抗干扰设计 EMC滤波,隔绝伺服、加热模组电磁杂波

塑封设备应用说明

1、接收UX010LB微弱应变信号,放大整形后输出工业标准电压;
2、实时上传锁模压力数据至设备控制系统,实现压力自动闭环调节;
3、支持多通道同步采集,单台放大器可对接两组UX010LB传感器;
4、小型嵌入式结构,适配塑封设备狭小电控柜安装布线。

3、FA409-403-5M 5米屏蔽信号连接线束

基础参数

线缆总长 5米,4芯双层屏蔽线缆
两端接头 匹配UX010LB传感器与CSA-591-99放大器公母对接
耐温区间 -20℃ ~ 80℃
屏蔽结构 全铜编织双层屏蔽,杜绝伺服电机电磁干扰

塑封设备应用说明

1、成套连接传感器与放大器,5米长度适配压机远距离机柜布线;
2、双层屏蔽稳定压力信号,避免信号漂移导致批量封装不良;
3、成品预制线束,现场无需接线,缩短新机调试、设备改造工时;
4、耐脱模剂、环氧树脂挥发气体腐蚀,适配塑封车间油污、化学蒸汽工况。

4、TGS-070/90 中空精密导电滑环

基础参数

中空通孔 φ70mm,φ90mm可穿真空管路、冷却水路
额定转速 0~600rpm
导电结构 镀金导电环+低磨耗合金电刷,低粉尘析出
通道配置 功率+信号混合通道,同步供电+温度信号传输
工作温度 -40℃ ~ 120℃,RoHS无卤合规

塑封设备应用说明

1、用于塑封旋转载台、上下料机械手360°连续旋转供电,解决传统线缆缠绕断裂故障;
2、中心通孔同步穿过真空吸附管路、冷却水管,实现电、气同步旋转传输;
3、低粉尘电刷结构,无杂质污染芯片与环氧塑封料,满足半导体Class1洁净车间标准;
4、支持24小时连续运转,大幅降低设备停机维护频次,提升产线稼动率。

整套组件协同工作原理

1、锁模压力闭环监测系统

UX010LB成对安装在塑封机格林柱 → FA409-403-5M屏蔽线束传输微弱应变信号 → CSA-591-99放大器放大输出0~10V标准信号 → PLC实时调节合模伺服压力,保证每片芯片塑封压力均匀,杜绝空洞、分层、芯片破损不良。

2、旋转载台导电传动系统

TGS-070中空滑环安装于塑封旋转载台转轴,定子端接入设备总电源与温控信号线,转子端给载台加热板、真空吸附模组供电,实现360°无缠绕连续旋转,完成框架送料、定位、塑封一体化自动化生产。

半导体塑封全场景适配

全自动半导体塑封设备整机产线场景图

1、全自动Transfer Molding塑封压机

  • TOWA、YAMADA、国产大功率塑封成型设备锁模力监测、旋转载台导电整套配套

2、新能源功率器件封装设备

  • IGBT、MOSFET功率模块高温高压塑封设备,严苛压力闭环管控场景

3、小型分立器件塑封机

  • 二极管、三极管、SOP/SOIC小型IC封装设备,紧凑型机柜布线适配

4、塑封后段自动化设备

旋转上下料机械手、载台预热旋转工位,TGS-070滑环专用配套

成套选型搭配对照表

型号 功能定位 成套搭配推荐 设备替换方案
UX010LB 锁模力应变传感器 标配2只/台塑封压机 美蓓亚原装原厂替换
CSA-591-99 应变信号放大器 1台对应2只UX010LB NMB原厂配套放大器
FA409-403-5M 5米屏蔽信号连接线 传感器与放大器成套配套 设备原厂配套线缆替代
TGS-070/90 中空旋转导电滑环 每台旋转载台配置1套 日系原装滑环国产化替代

客户常见咨询问答

Q:UX010LB传感器单独更换后需要整机校准吗?
A:无需整机校准,单只更换后精度维持±1%以内,现场快速更换不耽误产线生产。
Q:整套组件是否兼容国产替代TOWA进口塑封机?
A:完全兼容,安装尺寸、信号输出、电气规格对标原厂配件,直接替换无需修改设备程序。
Q:TGS-070滑环产生的粉尘会不会污染芯片与塑封料?
A:采用低磨耗贵金属电刷,粉尘析出量极低,符合半导体Class1无尘车间使用标准。
Q:FA409-403-5M线束是否支持长度定制?
A:支持3m/5m/8m屏蔽线束定制,可按需调整两端接头规格。

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