UX010LB/CSA-591-99/FA409-403-5M/TGS-070/90 半导体塑封设备成套配套组件
UX010LB / CSA-591-99 / FA409-403-5M / TGS-070 半导体塑封设备成套配套组件
半导体Molding塑封工序专用整套传感+旋转导电方案:UX010LB高精度拉杆应变传感器实时监测锁模压力,搭配CSA-591-99信号放大器输出标准模拟信号;FA409-403-5M屏蔽线束稳定传输测力信号;TGS-070中空滑环为塑封旋转载台、上下料机械手实现360°无缠绕供电与信号传输。整套耐高温、低粉尘、抗电磁干扰,适配8/12寸IC、功率器件封装产线24小时不间断量产。
1、UX010LB 美蓓亚拉杆应变锁模力传感器
基础参数
| 品牌 | Minebea美蓓亚三美 |
| 测量量程 | 0~1000μst |
| 阻抗/精度 | 350Ω±0.3%,精度±1%FS |
| 工作温度 | -10℃ ~ 75℃ |
| 防护等级 | IP67,轻量化铝合金外壳 |
| 配套出线 | 0.3m四芯屏蔽线,匹配R05-P8BM连接器 |
塑封设备应用说明
1、成对安装在塑封压机四根格林柱,实时采集合模锁模张力数据;
2、实时监控模具合模压力均匀度,避免压力不均造成芯片压损、环氧树脂溢料;
3、过载压力预警,保护压机拉杆不变形,延长设备使用寿命;
4、信号通过FA409线束接入CSA-591-99放大器,输出0~10V标准信号给到PLC闭环压力控制。
适配机型:全自动Transfer塑封压机、压缩式Molding设备、大功率功率器件塑封成型机
2、CSA-591-99 应变专用信号放大器
基础参数
| 适配传感器 | 350Ω应变片(完美匹配UX010LB) |
| 输出信号 | 0~10V标准模拟电压 |
| 温度特性 | 内置温度补偿电路,抑制车间温漂干扰 |
| 抗干扰设计 | EMC滤波,隔绝伺服、加热模组电磁杂波 |
塑封设备应用说明
1、接收UX010LB微弱应变信号,放大整形后输出工业标准电压;
2、实时上传锁模压力数据至设备控制系统,实现压力自动闭环调节;
3、支持多通道同步采集,单台放大器可对接两组UX010LB传感器;
4、小型嵌入式结构,适配塑封设备狭小电控柜安装布线。
3、FA409-403-5M 5米屏蔽信号连接线束
基础参数
| 线缆总长 | 5米,4芯双层屏蔽线缆 |
| 两端接头 | 匹配UX010LB传感器与CSA-591-99放大器公母对接 |
| 耐温区间 | -20℃ ~ 80℃ |
| 屏蔽结构 | 全铜编织双层屏蔽,杜绝伺服电机电磁干扰 |
塑封设备应用说明
1、成套连接传感器与放大器,5米长度适配压机远距离机柜布线;
2、双层屏蔽稳定压力信号,避免信号漂移导致批量封装不良;
3、成品预制线束,现场无需接线,缩短新机调试、设备改造工时;
4、耐脱模剂、环氧树脂挥发气体腐蚀,适配塑封车间油污、化学蒸汽工况。
4、TGS-070/90 中空精密导电滑环
基础参数
| 中空通孔 | φ70mm,φ90mm可穿真空管路、冷却水路 |
| 额定转速 | 0~600rpm |
| 导电结构 | 镀金导电环+低磨耗合金电刷,低粉尘析出 |
| 通道配置 | 功率+信号混合通道,同步供电+温度信号传输 |
| 工作温度 | -40℃ ~ 120℃,RoHS无卤合规 |
塑封设备应用说明
1、用于塑封旋转载台、上下料机械手360°连续旋转供电,解决传统线缆缠绕断裂故障;
2、中心通孔同步穿过真空吸附管路、冷却水管,实现电、气同步旋转传输;
3、低粉尘电刷结构,无杂质污染芯片与环氧塑封料,满足半导体Class1洁净车间标准;
4、支持24小时连续运转,大幅降低设备停机维护频次,提升产线稼动率。
整套组件协同工作原理
1、锁模压力闭环监测系统
UX010LB成对安装在塑封机格林柱 → FA409-403-5M屏蔽线束传输微弱应变信号 → CSA-591-99放大器放大输出0~10V标准信号 → PLC实时调节合模伺服压力,保证每片芯片塑封压力均匀,杜绝空洞、分层、芯片破损不良。
2、旋转载台导电传动系统
TGS-070中空滑环安装于塑封旋转载台转轴,定子端接入设备总电源与温控信号线,转子端给载台加热板、真空吸附模组供电,实现360°无缠绕连续旋转,完成框架送料、定位、塑封一体化自动化生产。
半导体塑封全场景适配
1、全自动Transfer Molding塑封压机
- TOWA、YAMADA、国产大功率塑封成型设备锁模力监测、旋转载台导电整套配套
2、新能源功率器件封装设备
- IGBT、MOSFET功率模块高温高压塑封设备,严苛压力闭环管控场景
3、小型分立器件塑封机
- 二极管、三极管、SOP/SOIC小型IC封装设备,紧凑型机柜布线适配
4、塑封后段自动化设备
旋转上下料机械手、载台预热旋转工位,TGS-070滑环专用配套
成套选型搭配对照表
| 型号 | 功能定位 | 成套搭配推荐 | 设备替换方案 |
|---|---|---|---|
| UX010LB | 锁模力应变传感器 | 标配2只/台塑封压机 | 美蓓亚原装原厂替换 |
| CSA-591-99 | 应变信号放大器 | 1台对应2只UX010LB | NMB原厂配套放大器 |
| FA409-403-5M | 5米屏蔽信号连接线 | 传感器与放大器成套配套 | 设备原厂配套线缆替代 |
| TGS-070/90 | 中空旋转导电滑环 | 每台旋转载台配置1套 | 日系原装滑环国产化替代 |
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